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  •  中小企業庁長官賞受賞
     
        

    CVD装置用 乾式排ガス処理装置

    ジョイクリーン


    ◆CVD装置より排出されるSiOパウダ等の反応生成物を完全にトラップするフィルタユニットと
    SiH、TEOS等の有毒ガスをTLV値以下に完全除外する触媒ユニットで構成されています。
     

    連続稼働仕様(CVD装置の稼働を停止することなくメンテナンス可能)
          
    新型パンチング方式の完全自動再生機構フィルタユニット
             
    ワンタッチジョイントのカートリッジ式各ユニット
     
    バイパスライン、瞬停再始動ユニット、インターロック回路標準装備
     
    新型ロータバルブ搭載
    ( 各ユニット切り替え時のCVD装置排気圧力の一定化)
     
    非常に安価なランニングコスト
     
    大風量型処理CVD装置にも容易に対応

    乾式排ガス処理装置のメリット
     ・有毒ガスを触媒ユニットにて吸着処理しますので、他方式(燃焼式、熱分解式)と違って装置内でのNOx、CO2等の発生が一切無く、
      排出ガスをそのまま大気に放出できます。
     ・SiO2等の反応生成物をフィルタユニットにて完全にトラップしますので、装置後段での配管清掃等の二次メンテナンスは全く発生しません。
     ・ユーティリティは商用電源のみ(LPG、用水等一切不要)ですので、ランニングコストの削減、安全性を確保できます。
     ・他排ガス処理装置にくらべて、フィルタ、触媒ユニットの長寿命化に加え、エレメント自体を安価にすることにより、乾式排ガス処理装置の
      課題であるランニングコストの低減を実現しています・

     

     ■ 処理対象ガス

       SiH4、PH3、B2H6、AsH3、HCl、NH3、TEOS、O3、TMOP、TEB 
     ■ 処理対象粉体
       SiO2パウダ等粒子径0.3μm以上の粉体
     

    仕様一覧表

    型   式 JC-100AF JC-300AF-S JC-450AF-S
    仕様 非連続稼働仕様 連続稼働仕様
    電源 50/60Hz 三相200/200?20V
    最大消費電力 3kVA 6kVA 11kVA
    最大処理流量 1000L/min 3000L/min 4500L/min
    吸引圧力設定範囲 0〜1.0kPa

     

     


    SiO2パウダークリーナ  JC-50F-RB

     
    ● CVD装置内部や接続配管に付着、堆積したSiO
    パウダ等の粉体を強力に吸引除去するクリーンルーム用クリーナです。
       強力タイプ吸引ブロワ、再生機構搭載フィルタ、大容量パウダ回収タンク等が標準装備されています。

     

    型  式 JC−50F−RB
    吸引対象物 ドライ粉体
    電源 50/60HZ 単相100V
    最大消費電力 1050W
    吸入仕事率 115〜385W
    真空度 2.5kPa〜23kPa
    吸入風量 0.15〜2.7m3/min
    電源コード 10m 3Pプラグ付
    回収タンク容量 80L
    フィルタ再生電動機容量 25W
    ホース 5m φ38、またはφ50
    運転時の騒音 50〜70dB
    装置概算重量 90kg

    性能向上のためお断りなしに仕様を変更する場合があります。

     

     

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